sc1 clean原理

主要應用於金屬離子的去除,其原理為HCl所形成之活性離子易與金屬離子化合。一般是以HCl (37 wt%)/H2O2 (31 wt%) /H2O (DI Water) = 1:1:6的濃度、重量比例混合液在70 溫度下進行5 ~ 10 分鐘之浸泡清洗 。 3. Piranha Clean (SPM) H2SO4/H2O2 主要應 ...

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